ไอซ์แลนด์, นิวยอร์ก, 2 ตุลาคม 2568 – Festo ได้สาธิตเวิร์กโฟลว์ที่เชื่อมต่อสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยมุ่งเน้นไปที่การจัดการและประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ที่สำคัญ ตัวอย่างการใช้งานล่าสุดของบริษัทเน้นย้ำว่าส่วนประกอบระบบอัตโนมัติที่เป็นนวัตกรรมของบริษัทช่วยเพิ่มความแม่นยำ ประสิทธิภาพ และความน่าเชื่อถือในการผลิตแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างไร

ศูนย์กลาง: การจัดการและการจัดตำแหน่งเวเฟอร์

หัวใจสำคัญของการสาธิตใหม่ของ Festo คือโมดูลฮับกลางที่เริ่มต้นการเดินทางของเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ฮับนี้ติดตั้งระบบแกนทรีแบบกลับหัว จึงเป็นทางเลือกที่คุ้มค่ากว่าหุ่นยนต์ SCARA ทั่วไปสำหรับการหยิบและถ่ายโอนเวเฟอร์ แกนทรีจะหยิบเวเฟอร์จาก Front Opening Unified Pods (FOUPs) ซึ่งเป็นตู้คอนเทนเนอร์ขนส่งเฉพาะทาง และเคลื่อนย้ายเวเฟอร์ได้อย่างรวดเร็วและแม่นยำ ช่วยให้มั่นใจได้ว่าการถ่ายโอนจากคลังสินค้าไปยังสายการผลิตจะเป็นไปอย่างรวดเร็วและเชื่อถือได้

โครงยึดนี้มีอุปกรณ์ปลายเวเฟอร์อันเป็นเอกลักษณ์ที่ผสานเข้ากับเครื่องจัดแนวเวเฟอร์ ซึ่งเป็นเครื่องมือปฏิวัติวงการที่ผสานการจับยึดเวเฟอร์และการจัดแนวแบบซับไมครอนไว้ในอุปกรณ์ขนาดกะทัดรัดเพียงชิ้นเดียว ช่วยลดความซับซ้อนของระบบ พร้อมทั้งรับประกันตำแหน่งที่แม่นยำก่อนที่เวเฟอร์จะเข้าสู่ขั้นตอนการผลิตถัดไป

การแปรรูปและการเคลือบทางเคมี

หลังจากการประมวลผลผ่านฮับกลางแล้ว เวเฟอร์จะถูกส่งต่อไปยังโมดูล 1 ซึ่งจำลองกระบวนการทางเคมีแบบเปียก ขั้นตอนการทำงานเริ่มต้นด้วยการล้างด้วย FOUP โดยใช้ตัวควบคุมการไหลแบบมวล (MFC) ของ Festo เพื่อรักษาสภาพแวดล้อมที่ปราศจากการปนเปื้อนก่อนนำเวเฟอร์ไปใช้งาน

จากนั้นเวเฟอร์จะถูกโหลดเข้าสู่สถานีเคลือบ ซึ่งโซลูชัน "การดูดกลับ" ของ Festo จับคู่กับแกนเชิงเส้นไฟฟ้า ช่วยให้หัวฉีดเคลื่อนที่ได้อย่างแม่นยำบนพื้นผิวเวเฟอร์ ระบบนี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่ามีการสะสมสารเคมีอย่างสม่ำเสมอ ลดของเสีย และยกระดับคุณภาพของผลิตภัณฑ์

การประมวลผลสูญญากาศและการกำหนดตำแหน่งไมโคร

อีกทางเลือกหนึ่งคือ เวเฟอร์อาจถูกถ่ายโอนไปยังโมดูล 2 ซึ่งสาธิตกระบวนการที่ใช้สุญญากาศ เช่น การกัดแห้ง ณ ที่นี้ เทคโนโลยีของ Festo จะควบคุมการเปิดและปิดวาล์วสลิตและวาล์วประตูอย่างนุ่มนวล เพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์จะเข้าสู่ห้องสุญญากาศได้อย่างราบรื่น

ภายในห้อง หมุดยกแบบนิวเมติกจะวางเวเฟอร์ลงบนหัวจับอย่างระมัดระวัง การสาธิตนี้ยังเน้นย้ำถึงระบบกำหนดตำแหน่งไมโครแบบนิวเมติกที่สามารถวางวงแหวนโฟกัสได้อย่างแม่นยำระดับไมครอน ซึ่งแสดงให้เห็นถึงการควบคุมที่ละเอียดแม่นยำที่จำเป็นสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง

นวัตกรรมที่เชื่อมต่อเพื่อความเป็นเลิศด้านเซมิคอนดักเตอร์

การสาธิตที่เชื่อมโยงกันนี้เน้นย้ำถึงวิธีที่ส่วนประกอบของ Festo ตั้งแต่เครนที่คุ้มต้นทุนไปจนถึงเครื่องจัดตำแหน่งแบบบูรณาการและระบบควบคุมของเหลวที่มีความแม่นยำทำงานสอดประสานกันเพื่อเพิ่มผลผลิต ความแม่นยำ และความน่าเชื่อถือในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่

Festo มีบทบาทสำคัญในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยจัดหาส่วนประกอบและโซลูชันสำคัญสำหรับกระบวนการทั้งส่วนหน้าและส่วนหลัง ผลิตภัณฑ์ที่นำเสนอประกอบด้วย:

• การจัดการเวเฟอร์อย่างอ่อนโยนและแม่นยำ
• ระบบการล้างไนโตรเจน (N₂) ประสิทธิภาพสูง
• ส่วนประกอบที่เข้ากันได้กับห้องคลีนรูม
• การแปลงเป็นดิจิทัล กระบวนการขับเคลื่อนด้วย AI และการบำรุงรักษาเชิงคาดการณ์
• โปรแกรมการฝึกอบรมและพัฒนากำลังคนชั้นนำของอุตสาหกรรม

หากต้องการข้อมูลเพิ่มเติม โปรดไปที่หน้าโซลูชันเซมิคอนดักเตอร์ของ Festo ในเมนูแบบเลื่อนลง “โซลูชัน” บนเว็บไซต์ หรือติดต่อตัวแทนขายหรือพันธมิตรการจัดจำหน่ายของ Festo